[工學기술] 리소그래피lithography5
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작성일 19-10-15 11:44
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특별히 미세 패턴을 형성하는 리소그래피의 경우 접두어 micro를 붙여 microlithography라 부른다.
이러한 리소그래피의 용도 중 가장 대표적인 것으로 반도체 집적회로 제작을 들 수 있따 즉, 전자빔 주사장치를 써서 유리 기판 위에 코팅된 크롬막을 선택적으로 제거하여 마스크를 만들고, 렌즈계를 사용하여 마스크 패턴을 웨이퍼 위에 축소 투영함으로써 회로 형태를 얻는 방법이다.[공학기술] 리소그래피lithography5 , [공학기술] 리소그래피lithography5공학기술레포트 , 공학기술 리소그래피lithography
리소그래피(lithography)
리소그래피(lithography)란 마스크라 불리우는 미리 작성된 원본의 패턴을 작업물 위에 사진 전사하는 것을 의미한다.
이해원교수, 세계 최고속 원자힘 현미경 개발
고속…(To be continued )
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