주사전자현미경
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작성일 19-09-26 15:22
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자기렌즈는 원통형으로 감겨진 코일로 만들어진 전자석으로 음전하를 띤 전자를 유도하는 성질을 통해 전자를 한 곳으로 모으는 기능을 한다.
다음으로 방출된 2차 전자를 탐지하여 시료 표면의 요철을 브라운관(CRT) 위에서 영상화하는 것이 주사전자현미경의 물체 observation 원리의 마지막 단계이다. 2차 전자를 발생하기에 충분한 1차 전자를 안정적으로 생성해주는 텅스텐 필라멘트를 주로 이용한다.
주사전자현미경(SEM)은 전자총, 자기렌즈, 진공관, 시료대, 검출기 등으로 이루어져 있다아 전자총은 전자를 생성하고 가속화시키는 장치이다.
시료를 투과하는 산란전자를 검출하는 것을 주사투과형 전자현미경(scanning transmission electro…(생략(省略))
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레포트/공학기술
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[ 일반생물학test(실험) 2 ]
` 주사전자현미경 : SEM `
주사 전자 현미경이란 진공 중의 시료 표면을 가늘게 집속한 전자 빔으로 주사하여 그 시료에서 발생되는 여러가지 신호 중 그 발생 확률이 가장 많은 2차 전자 또는 반사 전자를 검출하여 입체구조를 CRT로 관측하는 기능을 가진 전자 현미경을 말한다.
전자의 진행 통로에 공기가 있다면 진행을 방해하기 때문에 전자총에서 검출기까지 진공상태를 유지해야만 한다. 가속화된 전자가 시료의 원자에 있는 전자와 충돌하면 2차 전자가 발생하는데, 이 때 2차 전자는 시료의 표면에 대한 정보가 담고 있다아 또한, 2차 전자는 속도가 느리기 때문에 탐지가 더 쉽다. 시료대는 시료를 놓아두는 곳으로 전자에 대한 간섭을 최소한도로 유지하도록 설계되어야 한다.
주사전자현미경의 원리는 전자원(전자총)으로부터 발사한 전자선을 전자렌즈로 좁게 집속시켜 시료상을 2차원적으로 주사하면서 조사하여 시료 표면에서 방출되는 2차 전자를 검출하여 탐지하는 방법을 쓰는 것이다. 검출기는 2차 전자를 탐지하여 전기 신호로 바꿔줌으로써 최종적인 영상을 형성할 수 있도록 해준다. 자기렌즈는 시료를 비추는 전자의 크기를 결정하는 대물렌즈와 전자총을 빠져나온 전자를 모아주는 역할을 하는 집광렌즈로 나뉜다.
